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面向21世纪的微电子技术论文

2017-10-26 10:36:56  字体:   打印 收藏 

摘 要:摘 要:本文对21世纪微电子技术的发展趋势作了一个展望。本文认为21世纪初的微电子技术仍将以硅基CMOS电路为主流工艺,但将突破目前所谓的物理限制,继续快速发展;集成电路将逐步发展成为集成系统;微电子技术将与其他技术结合形成一系列新的增长点,例如微机

关键词:电子技术论文


  摘 要:本文对21世纪微电子技术的发展趋势作了一个展望。本文认为21世纪初的微电子技术仍将以硅基CMOS电路为主流工艺,但将突破目前所谓的物理“限制”,继续快速发展;集成电路将逐步发展成为集成系统;微电子技术将与其他技术结合形成一系列新的增长点,例如微机电系统(MEMS)、DNA芯片等将得到突飞猛进的发展。具体地,超微细光刻技术、虚拟工厂技术、铜互连及低κ互连绝缘介质、高κ栅绝缘介质、SOI技术等将在近几年内得到快速发展。21世纪将是我国微电子产业的黄金时代。

  推荐期刊:《世界科技研究与发展》

  期刊简介:本刊是面向当代基础学科前沿研究和世界各国科技正策与科研管理的国际性综合科技双月刊。近几年已有200多位中国科学院和中国工程院院士在本刊发表科研论文300余篇,对学科的发展和前瞻起到重要作用。本刊发表和报道重点是基础科学和前沿研究,同时也发表有关各国的科技政策与科研管理稿件,热忱欢迎广大科技工作者投稿和订阅。

  变更情况:原:《世界研究与开发报导》,《 世界研究与发展》

  主管单位:中国科学院

  主办单位:中国科学院成都文献情报中心

  主  编:张志强

  刊  期:双月刊

  开  本:大16开

  创刊时间:1979-01-01

  邮发代号:62-200

  单  价:20.00

  定  价:120.00

  国内统一刊号:51-1468/N

  国际标准刊号:1006-6055

  2017年 第04期目录

  科技政策与管理

  (317)美国伍兹霍尔海洋研究所的人才管理与评价机制及其对我国海洋科研机构管理的启示李春娣[1];林间[1,2]

  科技前沿与进展

  (325)钒钛磁铁矿综合利用关键技术专利分析朱月仙[1];张娴[1,2];许轶[1];王超[1,2];方曙[1]

  (331)中国成为科技强国对西方国家的影响朱敏[1];许轶[2]

  (332)基于专利分析的甲醇生物利用及转化技术趋势研究许轶[1];毕振华[2];李婧[1];李庆刚[2]

  (340)基于文献计量学的地面三维激光扫描技术研究进展分析杜超[1,2];任宪友[1]

  (349)促骨再生BMP-2缓释材料的研究进展孟会强[1,2];郭来威[1,2];许田恩[1,2];夏亚一[1,2]

  (355)机动车尾气污染物排放模型研究综述张兰怡;胡喜生;邱荣祖

  (363)城市街道峡谷通风与空气污染研究进展高海宁[1,2];李元征[3];韩风森[1];马倩[1];刘雅莉[1];胡聃[1]

  科技态势与趋势

  (372)基于文献计量的全球变化山地生态学研究态势分析陈华;杨阳;王伟

  科技评价与评估

  (380)四川省创新型城市竞争力集成评价及结构解析谢玲;顾新;肖进

  (385)日本科学技术创新综合战略2017重点解析黄未[1];李姝影[2];张娟[2]

  科技决策与咨询

  (386)特朗普政府预算案中的科研经费变化及优先领域调整分析汪凌勇

  (390)征稿简则

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