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微电子工艺论文

2017-11-14 11:14:20  字体:   打印 收藏 

摘 要:微电子工艺实验教学模式探索 摘 要:采用微电子工艺实验教学模式,即工艺实验教学由实际操作的工艺实验、工艺录像学习、器件与工艺仿真实验和多媒体辅助实验教学组成,阐述了具体内容。这种微电子工艺实验教学模式的建立,可满足本专业对微电子工艺实验的教

关键词:微电子工艺论文


  微电子工艺实验教学模式探索

  摘 要:采用微电子工艺实验教学模式,即工艺实验教学由实际操作的工艺实验、工艺录像学习、器件与工艺仿真实验和多媒体辅助实验教学组成,阐述了具体内容。这种微电子工艺实验教学模式的建立,可满足本专业对微电子工艺实验的教学要求,有助于提高专业教学质量、提高学生的实际工作能力和专业素质、培养有竞争力的高质量的微电子人才。

  推荐期刊:《实验室科学》

  引言:

  微电子学是一门发展极为迅速的学科,高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微电子学发展的方向。现代社会是一个信息社会,信息技术发展的方向是多智能化、网络化和个体化。要求系统获取和存储海量的多媒体信息、以极高速度精确可靠的处理和传输这些信息并及时地把有用信息显示出来或用于控制。所有这些都只能依赖于微电子技术的支撑才能成为现实。超高容量、超小型、超高速、超高频、超低功耗是信息技术无止境追求的目标,是微电子技术迅速发展的动力。

  目前我国的微电子行业领域正以日新月异的速度高速向前发展,但是微电子专业学生往往理论强于实践,成为制约我国微电子行业发展的最大障碍。为了培养出合格的微电子专业毕业生,在微电子教学过程中必须理论和实践并重。

  我们在结合我校多年微电子专业实验教学的实践工作以及目前微电子行业的现状和前景,提出了在本科阶段微电子专业实验改革实验内容――抓好两大平台建设;革新实验课程教学体系的新思路――因人而宜,因材施教,学生为主,教师为辅。

  微电子专业实验改革实验内容:

  在实验改革中主要分成两大主要平台:集成电路设计平台和集成电路测试平台。

  集成电路设计平台:

  实验室是开展研究性教学、培养和提高学生创新能力的重要阵地。微电子实验所涉及的一些必要的实验装备往往价格不菲,而一些综合性、设计性、研究探索性实验以及课程综合设计所需要的系统级先进设备和测试仪表更是价格惊人,在本科教学实验室中根本无法配置。为了解决这一矛盾,我们在实验室建设中引进先进的EDA软件,包括ECAD和TCAD软件构建集成电路设计模块。在这个模块中学生可以完成(1)数字IC和模拟IC的设计:进行数字集成电路、模拟集成电路和片上系统SoC的设计实验;(2)可以完成版图设计:进行数字集成电路版图设计、模拟集成电路版图设计;(3)还可以完成器件和工艺设计:进行微电子器件、纳电子器件和光电子器件的结构设计、性能仿真、工艺设计、参数优化和虚拟制造的实验。利用这些软件学生不仅可以完成一些过去因条件限制根本无法完成的综合性、设计性实验和课程设计,更主要的是学生在开展科技创新训练和复杂程度高的系统级毕业设计中,可以首先利用这些软件平台进行设计、仿真分析、反复修改,在获得正确设计和初步结果后再利用实验设备和测试仪器进行实验验证。这样做不仅减少了研究工作和实验工作的盲目性,而且降低了运行成本和设备维修率,提高了设备利用率。

  集成电路测试平台:

  该平台是针对微电子技术本科专业中关于半导体器件物理、固体电子导论、微电子器件设计、半导体基础实验、集成电路测试等课程的教学要求,完成以下几个模块设计实验:(1)半导体材料测试模块。通过四探针测试仪(包括电脑、软件)、导电类型鉴别仪、半导体霍尔效应测试仪和少子寿命测试仪可进行半导体材料(硅片)的导电类型、电阻率、电导率和少子寿命测试等实验和研究。(2)半导体器件测试模块。通过晶体管特性测试测试仪、数字万用表、半导体特性分析仪和CV特性测试仪可进行二极管、NPN、PNP、MIS和MOS晶体管的特性测试和参数提取的实验和研究。(3)IC在晶圆测试模块。通过STl03A手动探针台、数字示波器和逻辑分析仪可进行集成电路和半导体器件性能的在晶圆测试的实验和研究。(4)版图分析与电路提取模块,利用大平台显微镜、计算机和数字摄像头可进行集成电路的版图分析、图形测量和电路提取实验和研究。

  微电子专业实验课程新教学体系:

  为了培养高素质的、有创新能力的、符合新时代要求的学生,我们制定了新的微电子教学实验大纲。新大纲具有以下特点:(一)内容覆盖范围广,包括大部分微电子专业课程内容:半导体器件物理、固体物理、集成电路版图和工艺设计、集成电路CAD和微电子器件等等;(二)对实验者水平要求更高,编排结构更合理。大部分实验包含基本验证性和综合分析性,要求学生掌握扎实的基本知识,突出对学生能力培养和素质教育;(三)大纲规定了必做实验和选做实验两种类型实验,必做类型要求所有学生都要完成,而选做实验主要是针对部分学生开设的能力提高型实验,做到“因人而宜,因材施教”。

  与此同时,根据大纲的修订,我们对《微电子专业实验》讲义进行了重新编排,以了解新知识,掌握新技能,培养新能力为重点。通过大纲和讲义的修订和编排都为微电子专业实验的教学改革奠定了基础。

  结论:

  通过多年的实验教学实践,我们认为积极探索实验教学改革的思路,改进实验教学方法,建立符合新世纪教育改革理念的、覆盖微电子器件设计、Ic设计、工艺设计等各领域的微电子专业实验和实践性教学环境,才能更好地培养出符合时代需求的微电子专业人才,适应微电子技术的不断发展。

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